ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

　　注：①每個(gè)采樣點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次;

　　②本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性;

　　③根據(jù)工藝要求確定1~2種粒徑;

　　④各種要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式確定，要求的粒徑在0.1~5μm范圍，包括0.1μm及5μm。

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過(guò)三位數(shù)。

　　N——潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超出9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。

　　D——要求的粒徑(μm)。

　　0.1——常數(shù)，其量綱為μm。

　　美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)